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更新时间:2025-11-22
浏览次数:91400℃真空气氛炉是集高温加热、真空环境与气氛调控于一体的精密设备,核心适配无氧化、低污染的材料处理需求,兼顾稳定性与通用性,以下是其核心配置、性能优势及典型应用的详细介绍:
核心配置
配置类别具体信息
炉体与炉膛双层水冷 / 风冷壳体,中间填充高纯氧化铝多晶纤维保温材料,炉壳表面温度≤60℃,减少热量损耗且保障操作安全。炉膛采用刚玉或碳化硅材质内衬,抗热震性强,加热区长度 300-500mm,恒温区温度均匀性≤±3℃。
加热与控温系统加热元件主流为硅碳棒(适配氧化性气氛)或硅钼棒(高温稳定性更强),支持 1400℃长期连续运行。控温采用 PID 智能调节 + S 型 / B 型热电偶,控温精度达 ±1℃,支持 50 段程序编程,可自定义升温、保温、降温曲线。
真空与密封系统搭配机械泵 + 分子泵组合,极限真空度可达 10⁻⁴Pa,基础配置机械泵时可达 10⁻²Pa;炉门与炉管接口采用不锈钢法兰 + 耐高温金属密封圈密封,漏率≤1×10⁻⁴Pa・m³/s,有效隔绝空气渗入。
气氛调控系统预留多组气路接口,可通入氮气、氩气等惰性气体及氢气等还原性气体,配备质量流量控制器,气体流量调节精度 ±1% FS,部分机型带气体纯化装置,保障气氛纯度≥99.999%。
性能优势
环境可控性强:真空与气氛模式可灵活切换,真空环境能避免材料氧化、脱碳,惰性 / 还原性气氛可适配敏感材料加工,满足多场景无污染处理需求。
安全防护全面:具备超温断电、漏电保护、真空度异常报警、气体泄漏检测等多重防护,高压气体场景配备防爆泄压阀,炉门开启自动切断加热电源,降低实验风险。
操作便捷智能:支持电脑远程控制与数据实时记录,实验参数可存储追溯;部分机型带炉管快速更换结构,搭配万向轮设计,方便移动与维护。
典型应用
金属与合金加工:钛合金、高温合金的真空退火,消除内部应力与杂质气体;钨、钼等难熔金属粉末的烧结成型,提升材料致密度与耐高温性能。
陶瓷与半导体领域:氮化硅、碳化硅等特种陶瓷的真空烧结,减少孔隙率;半导体硅片、碳化硅外延片的高温退火,消除晶格缺陷,提升器件稳定性。
新能源与新材料研发:锂电池正极材料(如磷酸铁锂、三元材料)的真空烧结改性,优化晶体结构;MOFs 材料、碳纳米材料的高温活化,去除模板剂与杂质,提升材料性能。
科研与精密制造:高校、科研院所开展材料高温相变、真空化学反应等实验;义齿陶瓷、精密金属零件的真空热处理,保障产品表面光洁度与尺寸精度。
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