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高温箱式气氛炉的工作原理

更新时间:2026-01-20      浏览次数:44

高温密封与气氛置换

炉门通过金属密封圈 + 强力压紧机构实现密闭,配套水冷系统降低密封处温度,防止高温变形。采用高真空 - 充气多次循环的方式排尽炉膛内空气:由机械泵 + 罗茨泵抽真空至≤10⁻⁵ Pa,再通入惰性(Ar、N₂)、还原(H₂)或反应性气氛,重复 2-3 次;置换完成后,通过气体质量流量计(MFC)控制气体流量,维持炉膛微正压(500-1000Pa),避免外界空气渗入。

高温电热转换与精准控温

选用适配高温的发热体(硅碳棒 1200-1600℃、硅钼棒 1600-1800℃、石墨加热器 1800℃以上),通电后产生焦耳热,在高温工况下以热辐射为主要传热方式加热炉膛。耐高温热电偶(B/S 型)实时采集温度信号,反馈至 PLC+PID 多段温控系统,动态调节加热功率,严格按照预设的升温速率(0.1-20℃/min)、保温温度和保温时间运行;多面分布式加热设计补偿热损失,保证有效工作区温场均匀性达 ±3-5℃。

高温 - 气氛协同作用

在 1200-1800℃高温环境中,炉内特定气氛与样品发生预设的物理或化学反应:

惰性气氛隔绝氧气,防止高熔点金属、陶瓷、锂电材料等高温氧化;

还原气氛(如 H₂)去除金属氧化物表面氧化层,制备高纯金属粉体;

反应气氛(如 N₂、CH₄)诱导材料合成新物相(如氮化硅陶瓷、石墨化碳材料)。

排气口持续排出反应废气,维持炉内气氛纯度稳定。

高温缓冷与安全泄压

工艺结束后停止加热,严禁高温急冷,优先自然冷却;若需加速降温,可开启水冷系统,且降温速率需控制在≤10℃/min,防止炉膛内衬热胀冷缩开裂。待温度降至≤100℃安全阈值后,缓慢打开排气阀泄压(避免压力骤降冲击样品),再松开炉门取件。


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