真空箱式真空高温炉是一种高温加热设备

真空箱式真空高温炉（又称高温真空气氛箱式炉）是一种集高温加热、真空获得与维持、气氛控制于一体的热处理设备，广泛应用于科研院所、航天航空、电子陶瓷、冶金、新材料等领域。

一、工作原理

系统原理说明

电阻加热采用硅钼棒、硅碳棒、钼丝、钨丝等发热元件，电流通过时按焦耳定律（Q=I²Rt）产热，以热辐射形式将热量传递给物料

真空获得机械泵先抽至低真空（约-0.1MPa），选配分子泵/扩散泵可达高真空（10⁻³Pa）

真空维持炉体多重密封（双层水冷法兰+波纹管补偿+高温金属密封圈），真空计实时监测，真空度下降时自动补抽

气氛控制双向可控进气系统，通入N₂、Ar、H₂等气体，配气体分配装置和循环风机保证均匀性

智能控温微电脑PID控制，多段程序温控（30~50段可编程），控温精度±1℃

二、核心技术参数（以1200℃~1700℃标准型为例）

参数指标

温度范围室温 ~ 1200℃ / 1400℃ / 1700℃ / 1800℃（可定制）

控温精度±1℃（PID智能调节）

温场均匀性±3℃ ~ ±5℃（炉膛中心区）

升温速率1℃/h ~ 40℃/min（可编程调节）

极限真空机械泵：-0.1MPa；分子泵：≤6.67×10⁻³Pa（10⁻³Pa）

可通气体惰性气体（N₂、Ar）、还原性气体（H₂）、弱氧化性气体（CO₂、O₂）

电源220V / 380V

炉体结构双层钢板 + 风冷/水冷，外壳温度 ≤45~60℃

炉膛材质高纯氧化铝多晶纤维 / 碳化硅 / 氧化铝陶瓷纤维板

加热元件硅钼棒（1700℃+）、硅碳棒（≤1400℃）、铁铬铝电阻丝

三、主要结构组成

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│  控制柜（PLC+触摸屏+PID）     │

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│  炉壳（双层钢板，水冷/风冷）   │

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│  │ 炉衬（多层陶瓷纤维保温）│  │

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│  │ │ 加热元件         │   │  │

│  │ │ （硅钼棒/碳棒）   │   │  │

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│  │ │  │ 工作腔     │   │   │  │

│  │ │  │（放样品）  │   │   │  │

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│  密封：硅胶/氟橡胶圈 + 水冷  │

│  接口：抽真空口、进气口、     │

│        出气口、测压口、热电偶 │

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四、安全保护系统

保护功能说明

🔴 超温报警温度超过设定值自动切断加热

🔴 断偶保护热电偶断开时自动停机

🔴 过流/过压保护双回路可控硅整流控制

🔴 漏电保护炉体与控制器可靠接地

🔴 氢气专用自动点火、防爆阀、气体泄漏报警（通H₂时必配）

🔴 氧含量监测选配ZrO₂传感器在线监测